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85 第85章 见证历史14纳米轻舟处理器问世（第3页）

“噢？你要扩大生产？”

拉比兹看向高永明询问道。

高永明点了点头，想着怎么拖延时间道：“想试试接2o纳米的订单，哦对了，14纳米的euV光刻机你看能……”

话音未落，拉比兹打断道：“抱歉高总，euV光刻机可不是我能够说了算的，你们自己也很清楚，到底是谁在限制你们。”

“说得也对，我们还是继续谈2o纳米制程的duV光刻机吧。”曲程打了个圆场道。

两人的任务很简单，就是拖延足够多的时间。

等另一位荷兰工程师来交班，估计就差不多了，现在就拼命拖延就完事了。

……

芯片生产车间。

2o纳米制程光刻机内部。

第一块光掩膜版已经安装，光刻机镜头正射出193纳米波长的深紫外光光源，每次曝光，都会在底部的晶圆片上刻出设计好的芯片电路图案。

随着移动平台的不断移动，以及光刻机镜头的不断曝光，晶圆片被刻上了密密麻麻的芯片电路图，如果是生产2o纳米芯片，现在就已经完成光刻，可以直接送交切割封装检测了。

但用duV光刻机生产14纳米芯片，一次曝光根本不能满足需求，需要二次曝光。

“取出第一块光掩膜版，安装第二块光掩膜版。”林天目光看向冯承铭说道。

冯承铭立马照做。

当第二块光掩膜版放入光刻机镜头处，林天开始亲自校准，并讲解道：“听好了，多重曝光技术难的点在于晶圆对齐，如果两次的点位出现偏差，第二次曝光将会损坏第一次曝光留下的电路图案，因此要多加小心。”

在确认没问题以后，他看向冯承铭道：“二次涂抹光刻胶，进行二次曝光步骤。”

“明白了。”

冯承铭闻言照做。“光刻胶要均匀分布，这点应该难不倒你们。”林天淡淡道。

在二次步骤准备好后，光刻机再次启动，开始在底部晶圆上进行二次曝光。

看似步骤简单，但其实任何微小的误差，都有可能导致整张晶圆报废。

一张晶圆报废，那就是十几万的损失。

因为一张12英寸的晶圆，也就是常说的硅片，它就能大概切出5oo枚芯片。

按照骁龙81o处理器的市场价3oo元来算，损坏一张晶圆，就相当于损失了15万。

当然了。

14纳米的轻舟处理器会更贵！

随着光刻机启动，193纳米波长的深紫外光不断地曝光，底部的移动平台也不断移动，弥补第一次曝光电路图案的不足。

数分钟过去。

晶圆二次曝光结束。

等待片刻以后，林天戴上手套亲自取出晶圆，眯起眼睛仔细观察电路图案，大致看不出图案有重叠，但还需要进行测验。

“加急送去切割测验。”

冯承铭目光看向身旁的工程师，使了个眼色道：“小龙，你拿去切割测验。”

“我？”

那名工程师愣了愣。

他还没实操一遍呢，学不会多重曝光咋办？

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