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光刻机内部的透镜组,一般是由十余块凸透镜和凹透镜叠加组成,这款康尼NSR-1010g光刻机的透镜组高度大概在一米左右。
其中凸透镜负责控制焦距和成像距离,而凹透镜负责控制透镜色散以及像差,以保证最终图像能够准确地投射在晶圆之上。
“我们先通过画图和测算,得到现有透镜组的数值孔径,接着再将每一块透镜设置为变量,通过位移和拆卸,来测算每一块透镜对于整体的影响和差别,最后整合实验结果,通过改变透镜组内部结构,来提升光刻机本身整体的分辨率。”王向中面色严峻地说道。
“我也没有设置什么非常困难的目标,只要尽量让孔径数值尽量增大就可以了。”
听完这番话,台下的工程师和研究生们都陷入了沉默当中。
显然,王向中的计划是可行的。不过这个任务的难度太大了,首先是物理层面,现在的透镜组是由康尼的研发工程师设计调校好的,尽管水木大学的研究生们拥有丰富的理论知识,但这真正地上手操作还是头一遭,能不能真的把这件事情给干好还是一个未知数。
而晶华内部的工程部主要涉猎的还是晶圆制造部分,无论是PE工程师(ProcessEngineer,工艺工程师)还是IE工程师,对于光刻机本身构造的了解和改造能力都是极为有限的,他们主要负责的部分还是生产线其它流程的优化和改良,只对提供测试数据这件事情上有所帮助.
见到众人都陷入了沉默中,王向中继续说道:“参考康尼NSR-2005i9c,同为步进式光刻机,想要让工艺节点下降到0.5微米以下,数值孔径就必须达到0.5左右,的确是挑战不小。”
“可是……”台下一个研究生犹豫了半天,最终还是举手说道:“要是失败了怎么办……”
“失败?”王向中轻轻一笑,“胜败乃兵家常事,失败也是很正常的,又不要你们出钱,你们只要尽量把事情给办好就行。在接下来的日子,我会尽量指导你们开展研究工作……”
指导?
听到这狂妄的用词,台下的研究生们再一次炸开了锅。
“王师弟不会在开玩笑吧?”一个身着白色衬衫的青年颇有玩味地把玩着手中的钢笔,似笑非笑地盯着王向中,“你,来指导我们?我没有听错吧?”
“你有什么建议吗?”王向中见状,也只是脸色淡然地回应道。
“据我所知,王师弟现在不过还在读大一吧?”青年笑着回应道,“虽然我知道你在软件方面颇有造诣,但是改良光刻机可不是上实验室写代码,写几个for函数就能解决问题。”
“哦?”王向中眉头一挑,“那你倒是说说你的看法?”
“我认为,想要做好一件工作,必须得有一个能扛得起大旗的主事人,既然叶老愿意把机会让给年轻人,我想这个人不应该是你。”青年继续说道,咄咄逼人之意已昭然若视。
王向中见到青年的一番话,心中也是冷笑一声,没想到这么快就有人忍不住要跳出来搞内斗了。
有人的地方就有江湖,在哪里都少不了内部争斗,沽名钓誉的人总是一个接一个出现,但是现在他并没有耐心,也没有时间和这帮人斗下去了。
他表面上波澜不惊,只是依然脸色淡然地回应道:“所以呢?”
“我认为大家应该坐下来,好好投个票,决定一下由谁来做这个主。”青年表面慢条斯理道,“自我介绍一下,我叫刘兵,现在在物理工程系吴光教授手下读博二,主攻方向是光学应用,我想我应该有资格成为主事人的候选人吧?”
听到刘兵的一番话,不少人也是暗暗点了点头,这个刘兵在水木大学内名气不小,将来也必定是华夏物理学界的泰斗级人物,由他来带领整个团队自然是比王向中来得好。
尽管王向中在刚才的讲话中展露了他不少的学识,但他毕竟太年轻,而且为人也狂妄,一看就成不了什么大事。
王向中倒也不恼,只是笑盈盈地点了点头,将视线聚焦在刘兵身上:“说得不错,你确实有资格成为主事人。”
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